Bi avantajên performansa berfireh ên materyalên substratê yên kevneşopî yên Al2O3 û BeO re, seramîka Nîtrîda Aluminum (AlN), ku xwedan guheztina germî ya bilind e (hilberîna germê ya teorîkî ya monokrîstal 275 W/m▪k e, guheztina germî ya teorîkî ya polykrîstal 70m~210W / e. ) , domdariya dielektrîkî ya kêm, hevsengiya berfirehbûna termal a ku bi sîlîkona yek krîstal re têkildar e, û taybetmendiyên insulasyona elektrîkê ya baş, di pîşesaziya mîkroelektronîkê de ji bo substrat û pakkirina dorpêçê materyalek îdeal e.Di heman demê de ji ber taybetmendiyên mekanîkî yên germahiya bilind, taybetmendiyên germî û aramiya kîmyewî, ew ji bo pêkhateyên seramîk ên avahîsaz ên germahiya bilind jî materyalek girîng e.
Tîrêjiya teorîkî ya AlN 3.26g/cm3 e, serhişkiya MOHS 7-8 e, berxwedana germahiya odeyê ji 1016Ωm mezintir e, û berbelavbûna termal 3.5×10-6/℃ (germahiya odeyê 200℃) e.Seramîkên paqij ên AlN bê reng û şefaf in, lê ji ber nepaqijiyan ew ê rengên cûrbecûr mîna gewr, spîya gewr an zerê sivik bin.
Ji bilî gihandina germî ya bilind, seramîkên AlN van avantajên jêrîn jî hene:
1. Insulasyona elektrîkê ya baş;
2. Rêjeya berfirehbûna germî ya bi heman rengî ya bi monokrîstalê silicon, ji materyalên wekî Al2O3 û BeO bilindtir e;
3. Hêza mekanîkî ya bilind û hêza şikilî ya wekhev bi seramîkên Al2O3;
4. Hêza dielektrîkê û windabûna dielektrîkê ya navîn;
5. Li gorî BeO, germbûna seramîkên AlN kêmtir bandor li germahiyê dike, nemaze li jor 200℃;
6. Berxwedana germahiya bilind û berxwedana korozyonê;
7. Ne-jehrîn;
8. Ji bo pîşesaziya semiconductor, pîşesaziya metallurgiya kîmyewî û warên pîşesaziyê yên din werin sepandin.
Dema şandinê: 14-ê Tîrmeh-2023