Seramîka Aluminium Nitride (AlN), ku xwedî rêjeyên germî yên bilind e (rêjeyên germî yên teorîk ên monokrîstal 275W/m▪k e, rêjeyên germî yên teorîk ên polîkrîstalê 70~210W/m▪k e), sabîta dîelektrîk a nizm, katsayiya berfirehbûna germî ya bi silîkona yek-krîstal re li hev tê, û taybetmendiyên îzolekirina elektrîkê yên baş e, ji bo substratên devreyê û pakkirinê di pîşesaziya mîkroelektronîkê de materyalek îdeal e. Ew di heman demê de ji ber taybetmendiyên mekanîkî yên germî yên bilind ên baş, taybetmendiyên germî û aramiya kîmyewî ji bo pêkhateyên seramîk ên avahîsaziyê yên germahiya bilind materyalek girîng e.
Tîrbûna teorîk a AlN 3.26g/cm3 e, hişkbûna MOHS 7-8 e, berxwedana germahiya odeyê ji 1016Ωm mezintir e, û berfirehbûna germî 3.5×10-6/℃ (germahiya odeyê 200℃) e. Seramîkên AlN yên saf bêreng û zelal in, lê ji ber nepakiyên wan, ew ê rengên cûrbecûr ên wekî gewr, spî-gewr an zerê vekirî hebin.
Ji bilî îhtîmala bilind a germahiyê, seramîkên AlN xwedî avantajên jêrîn jî ne:
1. Îzolekirina elektrîkê ya baş;
2. Koefîsyenta berfirehbûna germî ya wekhev bi monokrîstala silîkonê re, ji materyalên wekî Al2O3 û BeO bilindtir;
3. Hêza mekanîkî ya bilind û hêza xwarbûnê ya wekhev bi seramîkên Al2O3 re;
4. Sabîta dîelektrîkê ya navîn û windabûna dîelektrîkê;
5. Li gorî BeO, germahiya seramîkên AlN kêmtir ji hêla germahiyê ve tê bandorkirin, nemaze li jor 200℃;
6. Berxwedana germahiya bilind û berxwedana korozyonê;
7. Ne-jehrîn e;
8. Ji bo pîşesaziya nîvconductor, pîşesaziya metalurjiya kîmyewî û warên din ên pîşesaziyê were sepandin.
Dema weşandinê: 14ê Tîrmehê, 2023