Bandorkera Dawî ya Seramîk a Bi Teflonê Veşartî - Rûyê Nezeliqok ji bo Destwerdana Waferê ya Hesas
Bandorkera dawî ya seramîk a bi pêçandina Teflon (PTFE) ya St.Cera, substratek alumîna ya bi hêza bilind bi pêçandinek PTFE ya yekreng û kêm-xişandinê (stûrî 15–30 μm) re dike yek. Pêçandin katsayiyek xişandinê ya pir nizm (≤0.1), berxwedana kîmyewî ya hêja, û taybetmendiyên nezeliqandinê peyda dike, pêşî li zeliqandina waferan digire û qirêjiya paşîn ji holê radike. Substrata seramîk a bingehîn (99.8% Al₂O₃) hêza bilind a xwarbûnê (361–1000 MPa), berxwedana li hember aşînê, û aramiya germî heya 260°C (sînorê pêçandinê) pêşkêşî dike. Ev bandorkera dawî ji bo destgirtina waferên nazik, zirav, an zeliqok (mînak, piştî pêçandina fotoresîst an pêvajoyên kîmyewî) îdeal e.
Taybetmendî (li ser bingeha substrata %99.8 Al₂O₃ bi pêçandina PTFE):
| Mal | Giranî |
| Materyalê Bingehê | %99.8 Alumina (Fildirî) |
| Materyalê Rûpûşkirinê | PTFE (Teflon) |
| Stûriya Rûpûşê | 15–30 μm |
| Koefîsyona Xurandinê (Bi Rûpoş) | ≤0.1 |
| Hêza Çembûna Bingehê (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Hişkiya Bingehê (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Tîrbûna Bingehê | 3.93 g/cm³ |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde (sînorê pêçandinê) | 260°C |
| Xurbûna Rûyê (berî boyaxkirinê) | Ra ≤0.4 μm |
| Hêza Dîelektrîkî (bingeh) | 15×10⁶ V/m |
Têbînî: Pêçandina PTFE germahiya herî zêde bi 260°C ve sînordar dike; ji bo sepanên germahiya bilindtir, seramîkên bê pêçandin an pêçandinên din bifikirin.
Serlêdan:
- · Desteserkirina waferan piştî pêçandina fotoresîst (rûyên zeliqok)
- · Veguhestina waferên zirav an jî nazik (pêşî li zeliqandinê digire)
- · Amûrên vekolîna nîvconductor û metrolojiyê
- · Otomasyona odeya paqij ku tê de divê qirêjiya perçeyan were kêmkirin
Pêvajoya Hilberînê:
Bingeha seramîk a sinterkirî û erdê bi hûrgilî → hişkkirina rûyê (gravkirina plazmayê an jî teqîna çîkolatayê) → pêçandina bi spreya PTFE → hişkkirina germê di 380°C de → vekolîna dawî. Her bandorkerek dawiyê ji bo stûriya pêçandinê (herikîna edyê), girêdanê (ceribandina birîna xaçerêyî ASTM D3359), û katsayiya xişandinê tê kontrol kirin.
Kontrola Kalîteyê:
%100 vekolîna dîtbarî ji bo qulên piçûk an bilbilan; yekrengiya qalindahiya pêçanê di nav ±5 μm de ye; piştî ceribandina xwarbûna 90° li ser kupona şahidê, veqetandin tune. Kontrolkirina pîvanan li gorî toleransa OEM (dirêjahî ±0.05 mm, rûtbûn ≤0.1 mm).
Avantajên li ser pêçanên bê pêçan an pêçanên din:
- · Rûyê nezeliqok pêşî li zeliqandin û şikestina waferê digire
- · Kêmtirîn koefîsyenta xişandinê di nav pêçanên seramîk de
- · Berxwedana kîmyewî ya hêja (asîd, baz, çareserker)
- · Bi rêgirtina li veguhestina materyalan, çêbûna perçeyan kêm dike
Sînorkirin (têbînî li ser cûdahiya materyalê):
Pêçandina PTFE ji tabloyên taybetmendiyên materyalê yên hatine dayîn (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) nehatiye wergirtin. Taybetmendiyên substratê bi hişkî li gorî pelê daneyê ya hatî dayîn in (99.8% Al₂O₃). Taybetmendiyên pêçandinê li ser bingeha taybetmendiyên PTFE yên standard ên pîşesaziyê ne, ji ber ku tu daneyên pêçandinê nehatine dayîn. Ji bo sepanên ku ji 260°C derbas dibin, bandorek dawiya seramîk a bê pêç tê pêşniyar kirin.*
Xwesazkirin:
Bi dirêjahiya 150–1500 mm, şeklên serî (girtina qiraxê, Bernoulli, deşt), şêwazên flanşên montajê li gorî nexşeya OEM peyda dibe. Pêçandina nîv (tenê deverên têkiliyê) an jî pêçandina tevahî vebijarkî ye.
Ji bo ceribandina zeliqandin û rijandinê nimûneyek bixwazin.
