Parçeyên Seramîk ên Alumina yên Ewle yên ESD-ê ji bo Desteserkirina Waferên Hesas-Statîk
Parçeyên seramîk ên alumînayê yên ewle yên ESD (dakêşana elektrostatîk) ên St.Cera ji %99.8 Al₂O₃-ya paqijiya bilind bi berxwedana rûberî ya xwerû ya 10⁶–10⁹ Ω/sq têne çêkirin, ku bi pêvajoyek dopîng an pêçandinê ya taybet ve tê bidestxistin. Ev parçe bi bandor barkirina statîk belav dikin, pêşî li zirara elektrostatîk a li wafer û cîhazên nîvconductor ên hesas digirin. Materyalê bingehîn hêza xwe ya bilind a xwarbûnê (361 MPa), hişkbûn (16 GPa), û hêza xwe ya dielektrîk (15×10⁶ V/m) diparêze. Parçeyên seramîk ên ewle yên ESD bandorên dawiyê, pinên hildanê, rayên rêber, û amûrên xwerû ji bo otomasyona FAB vedihewîne.
Taybetmendî(li ser bingeha 99.8% Al₂O₃ bi dermankirina ESD):
| Mal | Giranî |
| Materyalê bingehîn | %99.8 Alumina |
| Berxwedana Rûyê (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Tîrbûn | 3.93 g/cm³ |
| Hêza Bertengbûnê | 361 MPa |
| Hişkbûna Vickers | 16 GPa |
| Modula Young | 380 GPa |
| Berfirehbûna Germahî (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 800°C |
| Hêza Dîelektrîkî (girseya girseyî) | 15×10⁶ V/m |
Têbînî: Berxwedana rûyê ESD di tabloyên taybetmendiyên materyalê yên hatine peyda kirin de nehatiye dayîn. Rêzeya jorîn standarda pîşesaziyê ye ji bo seramîkên belavker. Ji kerema xwe ji bo raporên ceribandinê bi me re têkilî daynin.
Serlêdan:
● Bandorên dawiyê yên ewledar ji bo veguhestina waferê
● Pînên erdê û alavên ESD di alavên FAB de
● Soketên ji bo cîhazên hesas ên statîk biceribînin
● Amûrên paqijkirinê li cihê ku kontrola statîk girîng e
Çêkirin û Kalîte:
Pêvajoya standard a alumînayê + dermankirina rûyê ESD → berxwedana rûyê li gorî ANSI/ESD STM11.11 tê pîvandin. Her perçeyek %100 bi elektrodeke zengilî ya hevnavendî tê ceribandin.
Awantaj:
● Pêşî li windabûna berhemê ya têkildarî ESD digire
● Hêza mekanîkî û berxwedana kîmyewî ya seramîkê diparêze
● Ji ber rijandina statîk perçe çênabin
