Bandorkera Dawî ya Seramîk a Karbîda Sîlîkonê (SiC) - Hişkbûna Bilind ji bo Desteserkirina Waferê di Germahiya Bilind de
Bandorkera dawî ya seramîk a SiC ya St.Cera ji karbîda silîkonê ya paqijiya bilind (naveroka SiC 99.72%, Si ya azad 0.05%) bi karanîna materyalê koma S1111 tê çêkirin. Taybetmendiyên mekanîkî yên awarte pêşkêş dike: hêza xwarbûnê 449 MPa (pîvandî), modula elastîk 457 GPa (pîvandî), û hişkiya Vickers 25–28 GPa (tîpîk). Densiya nizm (3.10–3.15 g/cm³, tîpîk) hişkbûnek taybetî ya bilind peyda dike, îdeal ji bo robotên veguheztina waferê yên bilez. Bi konduktîvîteya germî ya 120–150 W/m·K (tîpîk) û katsayiya berfirehbûna germî ya 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tîpîk), ev bandorkera dawî bi bandor germê belav dike û di dema xebitandina germahiya bilind de (heta 1600–1700°C, bê bar) aramiya pîvanî diparêze. Rengê reş/gewr û sifir vegirtina avê lihevhatina odeya paqij misoger dike.
Taybetmendî(li gorî rapora testa SiC S1111 ya peydakirî û nirxên tîpîk)):
| Mal | Giranî |
| Mal | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Azad) |
| Reng | Reş/Gewrî |
| Tîrbûn | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Vegirtin Avê | 0% |
| Hêza Bertengbûnê | 449 MPa (navîn) |
| Berxwedana Şikestinê | 3.12 MPa·m¹/² (navînî) |
| Modula Elastîk | 457 GPa |
| Hişkbûna Vickers | 25–28 GPa |
| Germahiya Giştî (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Germahiya Bikaranîna Herî Zêde (bê barkirin) | 1600–1700°C |
Serlêdan:
● Rêvebirina waferê di germahiya bilind de (piştî germkirinê, RTP, epitaksî)
● Odeyên plazmayê yên ku berxwedana erozyonê ya bilind hewce dikin
● Robotên veguhestina bilez (sivik, hişkbûna bilind)
Çêkirin:
Sînterkirina toza SiC → hûrkirina CNC ya rastîn a profîla baskê û taybetmendiyên montajê → pêçandina rûyê → paqijkirina ultrasonîk. Ji bo sepanên valahiyê, vekolîna pîvanî ya %100 û testa rijandina helyûmê.
Kontrola Kalîteyê:
● Kontrola CMM ya dirêjahî, firehî û rûtbûnê
● Testa hêza xwarbûnê li gorî her komê (li gorî standarda rapora ceribandinê)
● Vekolîna dîtbarî di bin mîkroskopê de ji bo kêmasiyên rûyê
Avantajên li ser Alumina an Metal:
● Modula elastîkê 2 caran bilindtir e (457 li hember ~380 GPa ji bo alumina) - kêmtir xwarbûn
● 3× rêjeyên germî yên bilindtir - belavbûna germê ya zûtir
● Li hemberî germahiya aluminayê ya 800°C li hewayê li hember germahiya >1600°C berxwe dide
● Densiteya kêmtir ji pola - kêmkirina giraniya 40%
Xwesazkirin:
Dirêjahî 150–450 mm, şeklên serî (girtina qiraxê, Bernoulli, deşt), şêwazên flanşên montajê li gorî xêzkirina OEM.
*Hemû daneyên mekanîkî yên li jor ji rapora ceribandinê ya hatî peyda kirin (partiya S1111) tên. Nirxên germî û hişkbûnê ji bo vê pola SiC tîpîk in; ji kerema xwe ji bo sertîfîkaya taybetî ya lotê bi me re têkilî daynin.*
