Zengila Seramîk a Alumina ya Paqijiya Bilind ji bo Odeyên Pêvajoya CVD / PVD
Halkaya seramîk a St.Cera bi taybetî ji bo karanîna di odeyên pêvajoyê yên CVD (Depozîsyona Buxara Kîmyewî) û PVD (Depozîsyona Buxara Fizîkî) de hatiye sêwirandin. Ev halka, ku ji %99.8 alumînaya paqijiya bilind (Al₂O₃) hatiye çêkirin, wekî pêvekek odeyê, halkaya fokusê, an pêkhateyek kîta pêvajoyê kar dike da ku plazmayê sînordar bike û dîwarên odeyê ji erozyonê biparêze. Materyal berxwedana plazmayê ya hêja, hêza dielektrîk a bilind (15×10⁶ V/m), û aramiya germî heya 1600°C pêşkêşî dike, ku di hawîrdorên plazmaya êrîşkar ên li ser bingeha florîn de jiyanek dirêj a xizmetê misoger dike. Toleransên pîvanî yên rast (±0.05 mm li ser ID/OD) û rûtbûn (≤10 μm) pozîsyona qiraxa waferê ya domdar gengaz dike, yekrengiya depozîsyonê baştir dike û çêbûna perçeyan kêm dike.
Taybetmendî (li ser bingeha 99.8% Al₂O₃):
| Mal | Giranî |
| Mal | %99.8 Alumina (Fildirî) |
| Tîrbûn | 3.93 g/cm³ |
| Vegirtin Avê | 0% |
| Hêza Bertengbûnê | 361 MPa |
| Berxwedana Şikestinê | 3–4 MPa·m¹/² |
| Hişkbûna Vickers | 16 GPa |
| Modula Young | 380 GPa |
| Gehîneriya Germahî | 32 W/m·k |
| Berfirehbûna Germahî (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Hêza Dîelektrîkî | 15×10⁶ V/m |
| Berxwedana Taybetî | >10¹⁴ Ω·cm |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 1600°C |
Serlêdan:
- · Halkayên fokusê yên odeya CVD û halkayên qiraxê
- · Halkayên mertalê odeya PVD û halkayên kelepçeyê
- · Qapaxên odeyê û zengilên pêçanê yên gravurkirî
- · Halkayên dorpêçkirina plazmayê di pergalên gravkirina dielektrîk de
Pêvajoya Hilberînê:
Preskirina îzostatîk → makîneya kesk → sinterkirin di 1600°C de → hûrkirina CNC ID/OD → lepikandina rûyê → paqijkirina ultrasonîk → vekolîna %100 CMM. Rûyê ultra-lûs (Ra ≤0.4 μm) girêdana perçeyan kêm dike.
Kontrola Kalîteyê:
- · Kontrolkirina pîvanên %100 (nasname, dûrahiya hundir, stûrî, rûtbûn)
- · Kontrolkirina penetranta boyaxê ji bo mîkro-şikestinên rûyê
- · Testa hêza dîelektrîkî li gorî ASTM D149
- · Di bin mîkroskopa 20× de rengvedan an porozbûnek xuya nake
Avantajên li ser Ringên Metal an Quartz:
- · 5–10 carî temenê dirêjtir ji zengilên aluminiumê di plazmaya florîn de
- · Di fîlmên tenik de qirêjiya metal tune ye
- · Berxwedana plazmayê ji ya quartzê bilindtir e (çalên erozyonê tune ne)
- · Tewra piştî karanîna demdirêj jî, îzolasyona elektrîkê >10¹⁴ Ω·cm diparêze
Materyalê Alternatîf — Nîtrîda Sîlîkonê (Si₃N₄):
Ji bo sepanên ku berxwedana şikestinê ya hîn bilindtir (6.2 MPa·m¹/²) û berxwedana şoka germî ya çêtir (koefîsyona berfirehbûnê 3.2×10⁻⁶/℃) hewce dikin, zengilên Si₃N₄ hene. Lêbelê, alumina ji bo piraniya sepanên CVD/PVD ji hêla lêçûnê ve erzantir e. Ji kerema xwe dema ku hûn ferman didin tercîha materyalê diyar bikin.
Xwesazkirin:
- · Kunên derbasbûyî, profîlên gav bi gav, an jî qulên dijber ji bo montajkirinê
- · Rûyê bi Y₂O₃-yê pêçayî ji bo berxwedana plazmayê ya zêdekirî (vebijarkî)
- · Gravkirina lazer a jimara parçeyê / koda lotê
Not:Agahiyên li jor bi hişkî li gorî tabloya taybetmendiyên Al₂O₃ ya hatî dayîn in. Ji bo halqeyên Si₃N₄, li pelê daneyên Si₃N₄ yê cuda yê hatî dayîn binêrin.
