Çakê Valahiya Standard a Li ser Alumina-yê - Hişkbûna Bilind ji bo Makînekirina Rastîn
Ev çakê valahiyê yê li ser bingeha alumînayê ji %99.8 Al₂O₃ hatiye çêkirin, rûyek nerm û ne-por bi şêweyên xelekên valahiyê yên xwerû pêşkêş dike. Ew hişkbûnek awarte (modula Young 380 GPa) û rûtbûnek (≤3 μm) peyda dike, ku wê ji bo hûrkirina rastîn, lepikandin û perçekirina waferên nîvconductor û pêkhateyên optîkî îdeal dike. Germahiya bilind a materyalê (32 W/m·k) di dema pêvajoyê de yekrengiya germahiyê misoger dike.
Taybetmendî(li ser bingeha 99.8% Al)₂O₃):
| Mal | Giranî |
| Mal | %99.8 Alumina (Fildirî) |
| Tîrbûn | 3.93 g/cm³ |
| Hêza Bertengbûnê | 361 MPa |
| Hişkbûna Vickers | 16 GPa |
| Modula Young | 380 GPa |
| Gehîneriya Germahî | 32 W/m·k |
| Rûtbûn | ≤3 μm (li ser 200 mm) |
| Xurbûna Rûyê (aliyê çokê) | Ra ≤0.4 μm |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 800°C |
Serlêdan:
- · Hûrkirina pişta waferê (qalind û nazik)
- · Qutkirina rastîn a materyalên şikestî
- · Pêçandina substratên seramîk
- · Cilskirina lensên optîkî
Çêkirin:
Pêçandina rast a her du aliyan → xêzkirina bi elmas (vebijarkî) → giloverkirina qiraxan → paqijkirina bi ultrasonîk → Kontrolkirina %100 rûtbûnê bi interferometreya lazerê.
Aavantaj:
- · Piştgiriya hişk di bin barê de xwarbûnê kêm dike
- · Ji avahiya poroz perçe çênabin
- · Paqijkirina hêsan (lihevhatî bi solvent-paqijkirinê re)
- · Xêzên valahiyê yên xwerûkirî (şêwazên hevnavendî, radyal, xwerû)
Mezinahîyên Berdest:
Gur: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; çargoşe/dûçerxe li gorî daxwazê.
Ji bo hêza mekanîkî ya bilindtir, em guhertoyên li ser bingeha metal jî pêşkêş dikin.
