Çakêtê Valahî yê Seramîk ê Poroz ê li ser bingeha Alumina ji bo Desteserkirina Waferên Zirav
Çakê poroz ê St.Cera yê li ser bingeha alumînayê ji %99.6 Al₂O₃ ya paqijiya bilind bi porozîteya vekirî ya kontrolkirî ya %30–45 û mezinahiya poran a yekreng di navbera 10 û 50 μm de hatiye çêkirin. Berevajî çakêtên xemilandî, rûyê poroz valahiyek belavkirî li seranserê pişta waferê peyda dike, nîşankirina qiraxan ji holê radike û girtina nerm a waferên pir zirav (≤100 μm) an jî xwar dihêle. Materyal hêza xwarbûnê ≥250 MPa û aramiya germî heta 400°C di hewayê de pêşkêş dike.
Taybetmendî(li ser bingeha 99.6% Al)₂O₃):
| Mal | Giranî |
| Mal | %99.6 Alumina (Spî) |
| Porozîtî | %30–45 (guhêrbar) |
| Mezinahiya Porê Navînî | 10–50 μm |
| Hêza Bertengbûnê | ≥250 MPa |
| Tîrbûn | 3.88 g/cm³ |
| Rawestî (ji 200 mm zêdetir) | ≤5 μm |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 400°C (hewa) |
| Dawîya Rûyê | Lapped (Ra ≤0.8 μm) |
Serlêdan:
- · Hêrandina pişta waferê ya zirav (≤50 μm)
- · Sazkirina waferê ya çewisî ji bo qulkirinê
- · Hilgirtina qalibê yekane
- · Desteserkirina substrata cam
Çêkirin:
Toz bi çêkerên poran re têkelkirî → pêçandina îzostatîk → sinterkirin di 1600°C de → pêçandin heta qalindahiya dawî. Her çokek ji bo yekrengiya valahiyê (cudabûna zextê <%5) di herikînê de tê ceribandin û ji bo belavkirina mezinahiya poran (SEM) tê kontrolkirin.
Avantajên li ser pêlavên kevneşopî:
- · Nîşankirina pişta waferê an jî guheztina qalibê tune
- · Waferên bi kevanê heta 500 μm digire
- · Rûyê xwe-paqijker (por li hember girtina poran li ber xwe didin)
- · Piştgiriya yekreng stresa herêmî ji holê radike
Cxwerûkirin:
Şiklên gilover an çargoşe, qûtra wan 100–450 mm ye. Xeleka mohrkirina qiraxan ji bo kontrola valahiya herêmî heye.
Ji bo mezinahiya waferê ya taybetî nimûneyek daxwaz bikin.
