Pinê Piştgiriya Seramîk ji bo Fixturesên Pêvajoya Semiconductor
Pînên piştgirî yên seramîk ên St.Cera (ku wekî pînên hildanê an pînên piştgirî jî têne zanîn) di odeyên pêvajoya nîvconductor de têne bikar anîn da ku wafer an jî substratan di dema destgirtin, germkirin, an sarkirinê de bilind bikin. Ji %99.8 alumina an jî nîtrîda silîkonê hatine çêkirin, ev pîn hêza zextê, aramiya germî û berxwedana kîmyewî ya bilind pêşkêş dikin. Sêwirana serê nîv-sferîk an jî pêça daîre pêşî li xêzkirina waferê digire.
Taybetmendî(Alumina 99.8%):
| Mal | Giranî |
| Mal | %99.8 Al₂O₃ an Si₃N₄ |
| Dirêjî | 10 – 100 mm |
| Çap | 1 – 10 mm |
| Şêweyê Serî | Dûz, nîvkadî, tûjkirî |
| Hêza Zextkirinê (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde (Al₂O₃) | 1600°C |
| Dawîya Rûyê | Lapped (Ra ≤0.4 μm) |
| Tolerans li ser Diameter | ±0.01 mm |
Serlêdan:
Pînên hildanê di odeyên CVD/PVD de
Pînên piştgirîyê ji bo pijandina tebeqeya germ
Strukturên piştgiriya karta probê
Piştgirên qeyikê yên firna quartz
Çêkirin:
Hûrkirina bênavendî ya rastîn a OD → hûrkirina elmas a profîla serî → paqijkirina ultrasonîk → vekolîna 100% a boyûtî.
Kontrola Kalîteyê:
CMM ji bo dirêjahî/qûtra, berawirdkerê optîkî ji bo nîvqatî, ceribandina barkirinê ji bo verastkirina hêza zextê (nimûneya rasthatî ji bo her lotekê). Gûherîna ferromanyetîk tune ye (bi mıknatîsê ve hatî verastkirin).
Avantajên li ser pinên metal an quartz:
5 caran ji pola zengarnegir temenê wê dirêjtir e
Di odeya pêvajoyê de qirêjiya metal tune ye
Kapasîteya germahiyê ya bilindtir ji quartz (1600°C li hember 1100°C)
Rûyê nezeliqok (zeliqandina perçeyan kêm dibe)
Xwesazkirin:
Profîlên serî yên pirjimar, bingehek bi têl, an şaftek konîk.
Em ji bo jîngehên plazmaya tundrew jî pinên SiC peyda dikin.
