Plaqeya Belavkirina Gaza Alumina ji bo Serşoka CVD/PVD
Plaqeya belavkirina gazê (serê serşokê) ya St.Cera bi makîneyeke rast ji seramîka alumînayê ya paqijiya bilind a %99.8 hatiye çêkirin. Ew xwedî rêzek ji mîkro-kunan (bi qûtra 0.3–1.5 mm) e ku di dema pêvajoyên CVD, PVD, an ALD de herikîna gazê ya yekreng li ser rûyê waferê misoger dike. Hêza dîelektrîk a bilind (>15×10⁶ V/m) û berxwedana plazmayê ya plakeyê wê ji bo danîna fîlma tenik a nîvconductor girîng dike.
Taybetmendî:
| Mal | Giranî |
| Mal | 99.8% Al₂O₃ an SiC |
| Çap | 100 – 1500mm (gilover) an jî çargoşeyî |
| Qewîtî | 5 – 20 mm |
| Qûtra qulê | 0.3 – 1.5 mm |
| Şêweya Qulikê | Taybet (sêgoşeyî, çargoşeyî, radyal) |
| Rûtbûn | ≤10 μm li ser tevahiya qadê |
| Xurbûna Rûyê | Ra ≤0.6 μm (aliyê gazê) |
| Rêjeya Qada Vekirî | 5–15% |
Serlêdan:
Plaqeyên serşokê yên PECVD
Enjeksiyonên gazê yên ALD
Plakên belavkirina gazê yên odeya gravurkirinê
Pêkhateyên reaktorê MOCVD
Çêkirin:
Substrata alumînayê bi awayekî rast hatiye pêçandin → Qulkirina CNC bi amûrên bi pêçandina elmasê (toleransa pozîsyona qulê ±0.02 mm) → rakirina xirbeyan → paqijkirina bi ultrasonîk → Pakêta Sınıfa 100.
Kontrola Kalîteyê:
Her plakaya %100 ji bo mezinahiya kunan (sîstema dîtinê), rûtbûna wê (interferometreya lazerê), û yekrengiya herikîna gazê (nexşeya zextê) tê kontrolkirin. Di bin mîkroskopa 20x de mîkro-çirandin çênabin.
Avantajên li ser plakayên metalî:
Di fîlmên tenik de gemarîbûna metalî tune
Hilberîna perçeyên kêmtir (bê perçeyên korozyonê)
Li hember plazmayên paqijkirinê yên êrîşkar (CF₄, NF₃) li ber xwe dide
Taybetmendiyên Xweser:
Kanalên gazê yên piştê, qulên berevajîkirî, mohrên qiraxan, û poleyên materyalên cûda (SiC ji bo guhêzbariya germî ya bilindtir, pêça Y₂O₃ ji bo berxwedana plazmayê).
Em verastkirina CAD û simulasyona herikînê berî çêkirinê peyda dikin.
