Çakê Valahiya Alumina ya 12-inch ji bo Pêvajoya Waferê ya 300mm
Çakê valahiyê yê 12 înç ê St.Cera ji bo desteserkirina waferê 300 mm bi endezyariya rast ji sedî 99.8 alumînaya paqijiya bilind (Al₂O₃) hatiye çêkirin. Çakê xwedan rûyek bi xêzikên nazik e (firehiya xêzikê 0.5–1.0 mm, pîç 2–3 mm) da ku belavkirina valahiyê ya yekreng li seranserê qûtra 300 mm misoger bike. Rûtbûn di nav 5 μm de tê parastin, ku di dema perçekirin, hûrkirina piştê û vekolînê de sabîtkirina waferê bê xwarbûnê gengaz dike. Hêza bilind a xwarbûnê (361 MPa) û hişkbûna materyalê (16 GPa) aramiya pîvanî ya demdirêj garantî dike, tewra di bin çerxên valahiyê yên dubare de jî.
Taybetmendî (li ser bingeha %99.8 Al₂O₃):
| Mal | Giranî |
| Çap | 300 mm (12 înç) |
| Mal | %99.8 Alumina (Fildirî) |
| Tîrbûn | 3.93 g/cm³ |
| Hêza Bertengbûnê | 361 MPa |
| Hişkbûna Vickers | 16 GPa |
| Rawestî (ji 300 mm zêdetir) | ≤5 μm |
| Firehiya xêzê | 0.5–1.0 mm |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 800°C |
| Hêza Dîelektrîkî | 15×10⁶ V/m |
Serlêdan:
300mm wafer qulkirin û xêzkirin
Hêrandina pişta waferê (desteka waferê ya zirav)
Muayeneya optîkî û lêkolîn
Çepikên girêdan/vekirina demkî
Çêkirin:
Bi CNC heta radeya dawî tê hûrkirin û lepikandin, bi tekerên elmasê tê xelekkirin, bi ultrasonîk tê paqijkirin, û di odeya paqij a Sınıfa 100 de tê pakkirin. Her çîp ji bo radeya (interferometreya lazerê) û kûrahiya xelekê (profilometre) %100 tê kontrolkirin.
Awantaj:
Hilberîna kêm a perçeyan (≤0.05 perçe/cm²)
Ji hêla kîmyayî ve li hember çareserker û asîdan bêbandor e
Rûyê ewle yê ESD (berxwedan >10¹³ Ω·cm)
Şêwazên kunên valahiyê yên xwerû û portên piştê hene.
