Çakê Valahiya Alumina ji bo Kubkirin û Hûrkirina Rastîn
Çakê valahiya alumînayê ya St.Cera ji %99.8 Al₂O₃ ya paqijiya bilind bi xelekên valahiya bi makîneya rast hatiye çêkirin. Kapasîteya me ya hûrkirina rast 0.003 mm û paralelîzma 0.002 mm digihîne, ku di dema perçekirin, hûrkirina piştê û vekolînê de rastkirina waferê bê xwarbûn misoger dike. Materyal hêza bilind a xwarbûnê (361 MPa), hişkbûn (16 GPa) û aramiya germî heya 800°C pêşkêşî dike. Bi formatên gilover heya 600 mm bi qûtra derve (OD) û bi şiklên çargoşeyî heya 1500 mm dirêjahî peyda dibe. Xelekên valahiyayê bi sêwirana xwerû (şêwazên hevsengî, radyal, an torê) têne sêwirandin da ku li gorî hewcedariyên pêvajoyê yên taybetî bin. Her çak bi interferometreya lazerê tê kontrol kirin û bi raporek verastkirina xelekiyê re tê peyda kirin.
Taybetmendî (li ser bingeha 99.8% Al)₂O₃& Kapasîteyên hilberînê yên St.Cera):
| Mal | Giranî |
| Mal | %99.8 Alumina (Fildirî) |
| Tîrbûn | 3.93 g/cm³ |
| Hêza Bertengbûnê | 361 MPa |
| Hişkbûna Vickers | 16 GPa |
| Qûtrasa Derve (herî zêde) | 600mm |
| Stûrî (herî zêde) | 100mm |
| Dirêjahî (herî zêde) | 1500mm |
| Rûtbûn | 0.003mm |
| Paralelîzm | 0.002mm |
| Dawîya Rûyê | Ra0.1 |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 800°C |
Serlêdan:
- · Qutkirin û xêzkirina waferê (200mm/300mm û mezintir)
- · Hêrandina pişta waferên tenik
- · Vekolîn û lêkolîna optîkî
- · Desteserkirina substrata mezin
Rastbûna Çêkirinê:
- · Rastbûn: 0.005mm
- · Perpendîkularî: 0.005mm
- · Girûbûn: 0.002mm
- · Berfirehî: 0.01mm
