Bandorkera Dawî ya Seramîk a Alumina-Paqijiya Bilind ji bo Robotên Destgirtina Waferan

Bandorkera dawî ya seramîk a alumînayê ya St.Cera ji %99.8 Al₂O₃ ya paqijiya bilind bi karanîna alavên hûrkirina CNC yên 5-eksenî yên pêşkeftî bi awayekî rasthatî tê çêkirin. Kapasîteyên me yên hilberînê makîneyên hûrkirina rasthatî û navendên makînekirina CNC vedihewîne, ku geometrîyên tevlihev bi rastbûnek bilind gengaz dike. Bandorkera dawî profîlek zirav (bi qasî 1.5 mm zirav) bi qiraxek pêşeng a konîk ji bo danîna nerm a waferê vedihewîne. Materyal hişkbûnek bilind (modula Young 380 GPa), berxwedana li hember aşînê ya hêja, û aramiya germî heya 800°C peyda dike. Her yekîneyek bi awayekî rasthatî tê hûrkirin da ku rûtbûna 0.003 mm, paralelîzma 0.002 mm, û qedandina rûyê Ra0.1 bi dest bixe, ku têkiliya domdar a wafer û xebata bê perçeyan di hawîrdorên FAB yên nîvconductor de misoger dike. Bi dirêjahî ji 150 mm heta 450 mm peyda dibe, bi geometrîyên serî yên xwerû (girtina qiraxê, Bernoulli, rût) û flanşên montajê ji bo lihevhatina bi robotên OEM re heye. Vebijarkên qedandina rûberê pêçandina lakirî, cilkirî, an jî pêçandina belavker a ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq) vedihewîne.

Taybetmendî (li ser bingeha 99.8% Al)₂O₃& Kapasîteyên hilberînê yên St.Cera):

Serlêdan:

• · Veguhestina waferê di robotên valahiyê û atmosferê de
• · Bandorên dawiya otomasyona FAB ji bo waferên 200mm/300mm
• · Birêvebirina waferên zirav (bi vebijarka ESD)

Kapasîteyên Çêkirinê:
Makîneyên me yên hûrkirina rastîn û navendên makînekirina CNC rê didin hilberîna pêkhateyên seramîk ên tevlihev bi:

• · Dirêjahiya herî zêde ya makînekirinê: 1500mm
• · Herî zêde diametera derve: 600mm
• · Kêmtirîn diametera hundirîn: 0.2mm
• · Qalindahiya herî zêde: 100mm

Kontrola Kalîteyê:
Rastbûn 0.005mm, perpendîkularî 0.005mm, giloverî 0.002mm, paralelî 0.002mm, konsantrîk 0.01mm ji hêla CMM ve hatine verast kirin. Her yekîne bi ultrasonîk tê paqij kirin û wekî odeya paqij a Sınıfa 100 tê pak kirin.