Çakêtê Valahî yê Seramîk ê Poroz ji bo Desteserkirina Waferê ya Warped
Çakê seramîk ê poroz ê St.Cera ji alumînaya paqijiya bilind bi porozîteyeke vekirî ya yekreng a 30-45% û mezinahiya kunan ji 10 heta 100 μm hatiye çêkirin. Berevajî çakêtên xêzkirî yên kevneşopî, rûyê poroz valahiyek belavkirî li seranserê pişta waferê peyda dike, bi bandor waferên çewisî, zirav, an yekalî bêyî rakirina qiraxan an şikestinê digire. Valahiya nerm (bi rêya sînorkerê ve tê verastkirin) di heman demê de pêşî li nîşankirina piştê jî digire.
Taybetmendî(li ser bingeha 99.6% Al)₂O₃):
| Mal | Giranî |
| Porozîtî | %30–45 |
| Mezinahiya Porê Navînî | 10–100 μm (hilbijartî) |
| Hêza Bertengbûnê | ≥250 MPa |
| Rawestî (ji 300 mm zêdetir) | ≤5 μm |
| Dawîya Rûyê | Lapped (Ra 0.8 μm) |
| Asta herî zêde ya valahiyê | -80 kPa |
| Germahiya Xebatê | 400°C (hewa), 600°C (bêbandor) |
| Mal | 99,6% Al2O3, ZrO2, an SiC |
Serlêdan:
Hêrandina piştê ya waferê ya zirav (≤50 μm)
Sazkirina waferê ya çewisî ji bo qulkirinê
Hilgirtina qalibê yekane ji teypê
Birêvebirina panela cam
Çêkirin û Kalîte:
Toza seramîk bi avakerên porên organîk re têkelkirî → pêçkirî → sinterkirî → heta qalindahiya dawîn tê pêçandin. Her çîpek ji bo yekrengiya valahiyê (≤5% devîasyon) di herikînê de tê ceribandin û ji bo belavkirina mezinahiya poran (SEM) tê kontrol kirin. Rûtbûn bi interferometreya lazerê tê pîvandin.
Avantajên li ser Çûkên Grooved:
Nîşankirina qiraxa waferê an jî guheztina qalibê tune
Waflên xwar (heta 500 μm kevan) digire
Girtina qulên valahiyê ji holê radike
Piştgiriya xwe-nivelkirinê ji bo substratên zirav
Xwesazkirin:
Şiklên gilover an çargoşeyî, mezinahiya wan heta 600 mm. Em dikarin zengilên mohrkirina qiraxan an jî dabeşên valahiyê yên herêmê bicîh bînin. Ji bo hewcedariyên hişkbûna bilind guhertoyên bi pişta metal hene.
Ji bo mezinahiya wafer û testa warpage-a xwe nimûneyek daxwaz bikin.
