-
Parçeyên Seramîk ên Halkayên Seramîk ên Rastbûna Bilind a Alumina
Parçeyên yedek ên seramîk, ku bi pêlkirina îzostatîk a sar û di bin germahiya bilind de têne sinterkirin, dû re bi makîneya rast û cilkirî têne çêkirin, dikarin bi taybetmendiyên berxwedana li hember aşînê, berxwedana korozyonê, berfirehbûna germî ya nizm û îzolekirinê her hewcedariyên hişk ên alavên nîvconductor bicîh bînin. Seramîk dikarin di gelek celeb alavên hilberîna nîvconductor de bi şert û mercên germahiya bilind, valahî an gaza korozîf ji bo demek dirêj bixebitin.
Ji toza alumina ya paqijiya bilind hatî çêkirin, bi pêlkirina îzostatîk a sar, sinterkirina germahiya bilind û qedandina rastîn ve hatî hilberandin, ew dikare bigihîje toleransa dimensiyonê ± 0.001 mm, qedandina rûyê Ra 0.1, berxwedana germahiyê 1600℃.
-
Çûkên Seramîk ên Amûrên Nîvconductor ên Xweserkirî yên ST.CERA
Parçeyên yedek ên seramîk, ku bi pêlkirina îzostatîk a sar û di bin germahiya bilind de têne sinterkirin, dû re bi makîneya rast û cilkirî têne çêkirin, dikarin bi taybetmendiyên berxwedana li hember aşînê, berxwedana korozyonê, berfirehbûna germî ya nizm û îzolekirinê her hewcedariyên hişk ên alavên nîvconductor bicîh bînin. Seramîk dikarin di gelek celeb alavên hilberîna nîvconductor de bi şert û mercên germahiya bilind, valahî an gaza korozîf ji bo demek dirêj bixebitin.
Ji toza alumina ya paqijiya bilind hatî çêkirin, bi pêlkirina îzostatîk a sar, sinterkirina germahiya bilind û qedandina rastîn ve hatî hilberandin, ew dikare bigihîje toleransa dimensiyonê ± 0.001 mm, qedandina rûyê Ra 0.1, berxwedana germahiyê 1600℃.
-
Bandorkera Dawî ya Seramîk a Karbîda Sîlîkonê (SiC) - Hişkbûna Bilind ji bo Desteserkirina Waferê di Germahiya Bilind de
Bandorkera dawî ya seramîk a SiC ya St.Cera ji karbîda silîkonê ya paqijiya bilind (naveroka SiC 99.72%, Si ya azad 0.05%) bi karanîna materyalê koma S1111 tê çêkirin. Taybetmendiyên mekanîkî yên awarte pêşkêş dike: hêza xwarbûnê 449 MPa (pîvandî), modula elastîk 457 GPa (pîvandî), û hişkiya Vickers 25–28 GPa (tîpîk). Densiya nizm (3.10–3.15 g/cm³, tîpîk) hişkbûnek taybetî ya bilind peyda dike, îdeal ji bo robotên veguheztina waferê yên bilez. Bi konduktîvîteya germî ya 120–150 W/m·K (tîpîk) û katsayiya berfirehbûna germî ya 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tîpîk), ev bandorkera dawî bi bandor germê belav dike û di dema xebitandina germahiya bilind de (heta 1600–1700°C, bê bar) aramiya pîvanî diparêze. Rengê reş/gewr û sifir vegirtina avê lihevhatina odeya paqij misoger dike.
-
Çakê Valahîyê yê Li Ser Bingeha Silicon Carbide (SiC) Ji Bo Jîngehên Germahiya Bilind û Plazmayê
Çakê seramîk ê St.Cera yê li ser bingeha SiC ji karbîda silîkonê ya paqijiya bilind (koma S1111, SiC 99.72%, Si ya azad 0.05%) tê çêkirin. Ew hêza xwarbûnê ya pîvandî ya 449 MPa, berxwedana şikestinê ya 3.12 MPa·m¹/², û modula elastîk a 457 GPa peyda dike. Germahiya berbiçav a materyalê (120–150 W/m·K) û berfirehbûna germî ya nizm (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) di dema çerxandina germî de zêdebûna bilez a germahiyê û xwarbûna waferê ya herî kêm dihêle. Çak dikare wekî çakek valahiyek poroz (herikîna gaza yekreng) an çakek standard a xêzkirî were mîheng kirin. Bi germahiya karanîna herî zêde 1600–1700°C (bê bar) û berxwedana erozyona plazmayê ya awarte, ev çak ji bo pêvajoya waferê ya germahiya bilind (tevlihevkirin, RTP) û odeyên gravur ên êrîşkar ên ku çakkên aluminumê tê de xirab dibin îdeal e.
-
Amûrên Nîvconductor Parçeyên Yedek ên Seramîk Hilgirên Seramîk
Parçeyên yedek ên seramîk, ku bi pêlkirina îzostatîk a sar û di bin germahiya bilind de têne sinterkirin, dû re bi makîneya rast û cilkirî têne çêkirin, dikarin bi taybetmendiyên berxwedana li hember aşînê, berxwedana korozyonê, berfirehbûna germî ya nizm û îzolekirinê her hewcedariyên hişk ên alavên nîvconductor bicîh bînin. Seramîk dikarin di gelek celeb alavên hilberîna nîvconductor de bi şert û mercên germahiya bilind, valahî an gaza korozîf ji bo demek dirêj bixebitin.
Ji toza alumina ya paqijiya bilind hatî çêkirin, bi pêlkirina îzostatîk a sar, sinterkirina germahiya bilind û qedandina rastîn ve hatî hilberandin, ew dikare bigihîje toleransa dimensiyonê ± 0.001 mm, qedandina rûyê Ra 0.1, berxwedana germahiyê 1600℃.
-
Xeleka Hêrandina Seramîk a Alumina ya Bi Pişta Metal ji bo Sepanên Lepikandina Hişkbûna Bilind
Zengila hûrkirina alumînayê ya St.Cera ya li ser bingeha metalê, qatek aşînkirinê ya seramîk a alumînaya paqijiya bilind (99.8% Al₂O₃) bi piştgiriyek metalî ya bi makîneya rast hatî çêkirin (bi gelemperî alumînum an pola zengarnegir) re dike yek. Ev sêwirana hîbrîd berxwedana aşînkirinê ya bêhempa û bêserûberiya kîmyewî ya seramîkê li ser rûyê hûrkirinê peyda dike, di heman demê de bingeha metalî hêza mekanîkî, montajkirina hêsan û berxwedana li hember şikestina şikestî zêde dike. Qata alumînayê hêza xwarbûnê ya 361 MPa, hişkiya Vickers a 16 GPa û aramiya germî heya 800°C pêşkêşî dike. Bingeha metalî bi kunên montajê, pînên bicihkirinê, an taybetmendiyên magnetîkî ji bo entegrekirina di makîneyên lapkirinê, hûrkerên planetar û alavên CMP de hatî xwerû kirin.
-
Parçeyên Yedek ên Seramîk ji bo Amûrên Stasyona Sondaja Nîvconductor
Parçeyên yedek ên seramîk, ku bi pêlkirina îzostatîk a sar û di bin germahiya bilind de têne sinterkirin, dû re bi makîneya rast û cilkirî têne çêkirin, dikarin bi taybetmendiyên berxwedana li hember aşînê, berxwedana korozyonê, berfirehbûna germî ya nizm û îzolekirinê her hewcedariyên hişk ên alavên nîvconductor bicîh bînin. Seramîk dikarin di gelek celeb alavên hilberîna nîvconductor de bi şert û mercên germahiya bilind, valahî an gaza korozîf ji bo demek dirêj bixebitin.
Ji toza alumina ya paqijiya bilind hatî çêkirin, bi pêlkirina îzostatîk a sar, sinterkirina germahiya bilind û qedandina rastîn ve hatî hilberandin, ew dikare bigihîje toleransa dimensiyonê ± 0.001 mm, qedandina rûyê Ra 0.1, berxwedana germahiyê 1600℃.
-
Pêvajoya Xweserkirî ya Çepika Waferê ya Seramîk a Al2O3
Parçeyên yedek ên seramîk, ku bi pêlkirina îzostatîk a sar û di bin germahiya bilind de têne sinterkirin, dû re bi makîneya rast û cilkirî têne çêkirin, dikarin bi taybetmendiyên berxwedana li hember aşînê, berxwedana korozyonê, berfirehbûna germî ya nizm û îzolekirinê her hewcedariyên hişk ên alavên nîvconductor bicîh bînin. Seramîk dikarin di gelek celeb alavên hilberîna nîvconductor de bi şert û mercên germahiya bilind, valahî an gaza korozîf ji bo demek dirêj bixebitin.
Ji toza alumina ya paqijiya bilind hatî çêkirin, bi pêlkirina îzostatîk a sar, sinterkirina germahiya bilind û qedandina rastîn ve hatî hilberandin, ew dikare bigihîje toleransa dimensiyonê ± 0.001 mm, qedandina rûyê Ra 0.1, berxwedana germahiyê 1600℃.
-
Plaqeya Seramîk a Amûrên Nîvconductor ên Xweserkirî yên ST.CERA
Parçeyên yedek ên seramîk, ku bi pêlkirina îzostatîk a sar û di bin germahiya bilind de têne sinterkirin, dû re bi makîneya rast û cilkirî têne çêkirin, dikarin bi taybetmendiyên berxwedana li hember aşînê, berxwedana korozyonê, berfirehbûna germî ya nizm û îzolekirinê her hewcedariyên hişk ên alavên nîvconductor bicîh bînin. Seramîk dikarin di gelek celeb alavên hilberîna nîvconductor de bi şert û mercên germahiya bilind, valahî an gaza korozîf ji bo demek dirêj bixebitin.
Ji toza alumina ya paqijiya bilind hatî çêkirin, bi pêlkirina îzostatîk a sar, sinterkirina germahiya bilind û qedandina rastîn ve hatî hilberandin, ew dikare bigihîje toleransa dimensiyonê ± 0.001 mm, qedandina rûyê Ra 0.1, berxwedana germahiyê 1600℃.
-
Çakê Valahiya Alumina ya 12-inch ji bo Pêvajoya Waferê ya 300mm
Çakê valahiyê yê 12 înç ê St.Cera ji bo desteserkirina waferê 300 mm bi endezyariya rast ji sedî 99.8 alumînaya paqijiya bilind (Al₂O₃) hatiye çêkirin. Çakê xwedan rûyek bi xêzikên nazik e (firehiya xêzikê 0.5–1.0 mm, pîç 2–3 mm) da ku belavkirina valahiyê ya yekreng li seranserê qûtra 300 mm misoger bike. Rûtbûn di nav 5 μm de tê parastin, ku di dema perçekirin, hûrkirina piştê û vekolînê de sabîtkirina waferê bê xwarbûnê gengaz dike. Hêza bilind a xwarbûnê (361 MPa) û hişkbûna materyalê (16 GPa) aramiya pîvanî ya demdirêj garantî dike, tewra di bin çerxên valahiyê yên dubare de jî.
-
Bandorkera Dawî ya Seramîk a Alumina bi Kanalên Valahîyê yên Yekbûyî
Bandorkera dawiya valahiya alumînayê ya St.Cera kanalên valahiyayê û qulên kişandinê yên bi makîneya rast hatine çêkirin rasterast di nav laşê alumînayê yê paqijiya bilind a 99.8% de entegre dike. Ev sêwiran balîfên valahiyayê yên derveyî ji holê radike, û bi hêza girtinê ya yekreng ve rasterast hilgirtina waferê gengaz dike. Hêza bilind a xwarbûnê (361 MPa) û hişkbûna wê (16 GPa) di bin çerxên valahiya dubare de aramiya pîvanî ya demdirêj misoger dike. Rastbûna li seranserê qada balîfê di nav 10 μm de tê parastin, ku pêşî li stres û şikestina waferê digire. Dergehên valahiyayê li flanşa montajê ya paşîn de ne ji bo entegrasyonek hêsan bi milên robotê OEM re.
-
Parçeyên Seramîk ên Alumina yên Ewle yên ESD-ê ji bo Desteserkirina Waferên Hesas-Statîk
Parçeyên seramîk ên alumînayê yên ewle yên ESD (dakêşana elektrostatîk) ên St.Cera ji %99.8 Al₂O₃-ya paqijiya bilind bi berxwedana rûberî ya xwerû ya 10⁶–10⁹ Ω/sq têne çêkirin, ku bi pêvajoyek dopîng an pêçandinê ya taybet ve tê bidestxistin. Ev parçe bi bandor barkirina statîk belav dikin, pêşî li zirara elektrostatîk a li wafer û cîhazên nîvconductor ên hesas digirin. Materyalê bingehîn hêza xwe ya bilind a xwarbûnê (361 MPa), hişkbûn (16 GPa), û hêza xwe ya dielektrîk (15×10⁶ V/m) diparêze. Parçeyên seramîk ên ewle yên ESD bandorên dawiyê, pinên hildanê, rayên rêber, û amûrên xwerû ji bo otomasyona FAB vedihewîne.
